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金融界2024年10月17日消息，国家知识产权局信息显示，深圳市艾柯森自动化设备有限公司取得一项名为“芯片蚀刻清洗机”的专利，授权公告号CN 221841808 U，申请日期为2024年2月。

专利摘要显示，本实用新型涉及半导体制造技术领域，公开了一种芯片蚀刻清洗机，包括：提篮驱动组件、提篮组件和清洗组件，所述提篮驱动组件包括提篮臂、驱动电机和传动机构，所述提篮臂设置于所述传动机构上，所述提篮臂在驱动电机的带动下在传动机构上沿N形轨道往复位移，所述N形轨道包括处于中间的第一轨道和分设于所述第一轨道两端的第二轨道和第三轨道；所述提篮组件包括第一提篮板和若干个设置于所述第一提篮板上的芯片盒，所述芯片盒用于安放待清洗芯片，所述第一提篮板上对应所述芯片盒区域设有用于清洗液或化学药剂流通的避让孔。本设计解决了芯片酸洗、芯片水洗和芯片甩干工艺流程中需要人工衔接的问题，提高了整个芯片制造工艺流程的效率。